제조사 및 모델명 : KarlSUSS / MJB-3 Standard

Optical Lithography시 UV exposure를 위한 장비입니다.
Optical microscope를 이용하여 layer의 align이 가능하며,
300 W의 UV를 이용하여 exposure 합니다.

현재 대부분의 기능을 수동으로 사용중이며,
최고 3 um의 resolution 구현이 가능합니다.