Scanning Electron Microscope 

주사 전자 현미경


모델명은 Hitachi 사의 FE-SEM S-4800으로 나노소자와 나노물질의 구조를 관찰하는 목적으로 사용한다.

최대 resolution은 1nm 이하이며 유기물도 고배율에서 관찰이 가능하다.

Detector는 4개로 구성되어 있으며 Upper Detector, Lower Detector, X-ray Detector, STEM Detector가 있다.

이를 통하여 SE,BSE,X-ray를 detect하여 선택적인 관찰이 가능하다.

FE-SEM S-4800의 자세한 사양은 다음과 같다. 




1.0 nm guaranteed (acceleration voltage 15kV, WD=4mm)

2.0 nm guaranteed (acceleration voltage 1kV, WD=1.5mm)


HM mode x100~x800k (magnification accuracy ±10%)

Electron gun

Cold cathode electrical field emission model electron gun

Accelerating voltage

0.5~30kV (0.1kV step)

Lens system

3 stage electromagnetic reduction type

Objective lens restriction

Movable restriction (4 hole switch and minute adjustments are possible outside the vacuum)

Stigmator Coil

8-pole electromagnetic type (X, Y)

Scanning coil

2 stage electromagnetic deflection type


Secondary electron detector (Upper/Lower/Upper+Lower)

(Noise elimination function through beam monitor signal included)

(Signal control function included)

Back-scattered electron detector

Energy dispersive X-ray detector Vacuum

Transmitted electron detector