Ultra High Vacuum Scanning Tunneling Microscope

 

Leybold 사의 Turbo Molecular Pump 및 Ion Pump를 사용
2개의 load-lock chamber로 10^-10 의 초고진공까지 가능

Scanning Tunneling Microscope는
금속 혹은 반도체의 표면을 tip으로 scanning 하면서
tunneling current를 detect 하여 topology를 관찰하거나
electrical state를 관찰하는 현미경이다.