| 16 |  |
On-Chip 한양사자
 |
19716 |
|
반도체 위에 금으로 만든 한양사자입니다.
|
| 15 |  |
Nano_SEM_05
|
9015 |
|
현재 진행중인 STT-MRAM 과제를 위한 E-beam lithography pattern의 tilted SEM image 입니다.
100nm 급 두께의 라인이 선명하게 나타나 있습니다.
|
| 14 |  |
숭례문 On-Chip
|
8857 |
|
숭례문화재 4주년이 되었습니다.
전소된 숭례문이 반도체 칩 위에 micro 숭례문으로 다시살아 났습니다.
빠른 복원을 기원하며..
|
| 13 |  |
CNT 미로
|
8634 |
|
CNT 코팅을 두껍게하여 증착하고 난 후에 생긴 크랙 사진출처: 천성우
|
| 12 |  |
Nano Forest
|
8272 |
|
Metallic-Nanotube 공정실험 중 나무들이 숲을 이루는 듯한 SEM 사진입니다.
사진출처: 김대홍
|
| 11 |
Nano_SEM_02
|
8240 |
|
Operated by
Seong-Goo Ahn.
|
| 10 |  |
Self-Assembled Nanopillar
|
8179 |
|
SU-8 resist에 e-beam lithography를 이용한 Self-Assembled Nanopillar의 SEM image입니다. 사진출처 - 이현규
|
| 9 |  |
Nano_SEM_04
|
8154 |
|
현재 FTC 1층 클린룸에 소재해 있는 Ion Milling System 으로 Etching한 샘플의 단면사진입니다.
Oxide 층 위에 Tungsten을 sputtering 한 후에 Photo Resist 마스크를 etching 마스크로 사용하여 test한 결과인데
Ion Milling System etching 과...
|
| 8 |  |
Nano Twin Towers
|
8000 |
|
30 nm 이하 resist pillar로 aspect ratio가 5 이상인 nanopiller들 사진.
9/11 10주년을 맞아 Nano twin tower로 제목을 정해봤음.
|
| 7 |  |
Nano_SEM_06
|
7935 |
|
FTC 1층 클린룸에 소재하는 E-beam Lithography 장비를 통해서 90nm Dot pattern을
구현하였지만 aspect ratio가 너무 높아 pattern이 쓰러져 있는 재미있는 사진입니다.
|
| 6 |  |
Nano_SEM_01
|
7887 |
|
|
| 5 |  |
CNT Grand canyon
|
7830 |
|
사진출처: 천성우
|
| 4 |  |
Nano_SEM_03
|
7735 |
|
p-Si , ONO구조, 그 위에 Cr/Au 마스크패턴 후 etching한 샘플의 단면입니다.
마치, 용이 불을 뿜는 재밌는 모습입니다 :)
|
| 3 |  |
불을 뿜는 MTJ
|
7719 |
|
측정결과가 잘 안나와 MTJ 스스로 짜증나서 불을 뿜는듯한 모습입니다. 사진출처: 천성우
|
| 2 |  |
Nano_SEM 6
|
7407 |
|
|
| 1 |  |
50um 아기공룡
|
7042 |
|
사진출처: 천성우
|
