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Nano Gallery

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16 Self-Assembled Nanopillar file 7419
SU-8 resist에 e-beam lithography를 이용한 Self-Assembled Nanopillar의 SEM image입니다. 사진출처 - 이현규  
15 Nano Forest file 7549
Metallic-Nanotube 공정실험 중 나무들이 숲을 이루는 듯한 SEM 사진입니다. 사진출처: 김대홍  
14 불을 뿜는 MTJ file 6948
측정결과가 잘 안나와 MTJ 스스로 짜증나서 불을 뿜는듯한 모습입니다. 사진출처: 천성우  
13 CNT 미로 file 7915
CNT 코팅을 두껍게하여 증착하고 난 후에 생긴 크랙 사진출처: 천성우  
12 50um 아기공룡 file 6293
사진출처: 천성우  
11 CNT Grand canyon file 7163
사진출처: 천성우  
10 On-Chip 한양사자 file 19025
반도체 위에 금으로 만든 한양사자입니다.  
9 숭례문 On-Chip file 8179
숭례문화재 4주년이 되었습니다. 전소된 숭례문이 반도체 칩 위에 micro 숭례문으로 다시살아 났습니다. 빠른 복원을 기원하며..  
8 Nano Twin Towers file 7352
30 nm 이하 resist pillar로 aspect ratio가 5 이상인 nanopiller들 사진. 9/11 10주년을 맞아 Nano twin tower로 제목을 정해봤음.  
7 Nano_SEM 6 file 6751
 
6 Nano_SEM_06 file 7286
FTC 1층 클린룸에 소재하는 E-beam Lithography 장비를 통해서 90nm Dot pattern을 구현하였지만 aspect ratio가 너무 높아 pattern이 쓰러져 있는 재미있는 사진입니다.  
5 Nano_SEM_05 file 8371
현재 진행중인 STT-MRAM 과제를 위한 E-beam lithography pattern의 tilted SEM image 입니다. 100nm 급 두께의 라인이 선명하게 나타나 있습니다.  
4 Nano_SEM_04 file 7502
현재 FTC 1층 클린룸에 소재해 있는 Ion Milling System 으로 Etching한 샘플의 단면사진입니다. Oxide 층 위에 Tungsten을 sputtering 한 후에 Photo Resist 마스크를 etching 마스크로 사용하여 test한 결과인데 Ion Milling System etching 과...  
3 Nano_SEM_03 file 7088
p-Si , ONO구조, 그 위에 Cr/Au 마스크패턴 후 etching한 샘플의 단면입니다. 마치, 용이 불을 뿜는 재밌는 모습입니다 :)  
2 Nano_SEM_02 file 7603
Operated by Seong-Goo Ahn.  
1 Nano_SEM_01 file 7191
 

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