자가정렬 탑게이트구조 공정.png


"플라즈마처리를 이용한 산화물반도체 자가정렬 탑게이트구조 공정방법 및 소자", 이승백, 이건우

국내특허출원

출원번호 : 10-2019-0106824

출원일자 : 2019. 08. 29