실험실 장비의 일부를 퓨전테크센터(FTC) 6층 나노과학기술연구소의 공용소자제작 팹인 나노소자제작실로 이전하게 되었습니다. 나노소자제작에 필요한 다양한 진공장비와 리소장비들의 설치를 위하여 특별히 설계된 나노소자제작실(약 33평)은 광학리소그리피를 위한 부속실을 두고 있으며 옆으로 로터리펌프, 다양한 가스 및 실험약품을 보관하는 펌프&가스실을 두어 위험가스와 소음을 분리할 수 있게 되어있다.
나노소자제작실에는 sputter chamber, thermal evaporator, PECVD, ALD등의 박막증착장비, Reactive Ion Etching, Plasma barrel etching 등의 건식식각장비, Rapid Thermal Annealer, Furnace 등의 열처리 장비, Optical Mask Aligner, Spin Coater 등의 광학리소그라피 장비들이 설치될 것이다.
또한 지하1층 clean room에 설치될 예정인 High-Resolution Electron-Beam Lithography 시설과 6층 정밀 측정실의 FESEM(Hitachi S-4800)등 최첨단시설이 한 장소에 집중되어 학생들이 연구의 끊김없이 지속적인 feedback을 받으며 매우 효율적인 연구를 진행할 수 있을 것으로 생각됩니다. 관심있는 학생들의 많은 참여 기대합니다.